新松公司攻克新一代真空机械手：可传输晶圆，重复定位精度0.02mm
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IT之家 8 月 25 日消息，8 月 21 日~25 日，2024 世界机器人大会在北京举行，169 家企业展出 600 余件创新产品。
据介绍，真空机械手是芯片制造过程中，负责不同工位之间晶圆传输的关键设备，在尖端工艺制程中重复定位精度要求达到了 0.02mm，相当于一根头发丝直径的 1/5，该设备长期被国外企业垄断，是名副其实的“卡脖子”技术。
新松公司自主攻克新一代真空机械手技术，并实现在中国最先进芯片制造工厂的批量应用。
新松 Centaur 真空机械手拥有领先的重复定位精度、碰撞保护以及 AWC 智能动态纠偏等功能，机械手采用双独立设计，两只手臂不受彼此影响独立进行取放片工作，相比传统机械手的传输效率大幅提升，可胜任不同尺寸规格的晶圆搬运。
▲ 双臂具身智能抓取站
IT之家注意到，新松公司还展出了双臂具身智能抓取站、工业机器人 3D 视觉免示教系统、特种机器人等相关机器人产品 / 系统。
▲ 工业机器人 3D 视觉免示教系统
▲ 特种机器人产品
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