8月22日,多名业内人士接受韩联社电话采访时表示,21日有一批日本EUV抗蚀剂被空运至韩国。这是日本上月4日对韩采取限贸措施的49天里首批运抵韩国的日产EUV抗蚀剂。
据日本广播协会(NHK)和共同社的报道,本月初,日本经济产业省批准了一部分日本企业所提出的允许出口申请。这批产品将运往三星电子华城半导体工厂极紫外光微影生产线。据路透社20日报道,日本政府近日第二次批准了对韩出口EUV抗蚀剂,最多可供三星电子使用9个月,极紫外光微影生产线的开工在短时间内不会出现问题。
据韩联社消息,目前尚无一家日企获得高纯度氟化氢、氟聚酰亚胺出口许可。业内人士表示,EUV抗蚀剂用于军事目的的可能性极低,日本政府也没有限制出口的理由,但仍存在不确定性。
另外,因政府管制阻挠对韩出口,日本材料厂商向三星电子等韩国企业请求配合,并考虑通过第三国出口等各种方案。
据报道,日本经济产业省此前宣布,从7月4日起对三种出口韩国的半导体材料加强审查与管控。这三种半导体材料是氟聚酰亚胺、抗蚀剂和高纯度氟化氢,是智能手机、芯片等产品的重要原材料。其中抗蚀剂对韩国的三星电子非常重要。
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