“神秘协议”阴影下 别忘了35年前ASML公司和清华大学的合作

作者：二马路的冰

出品：SOlab

毫无疑问，2023年开年至今,全球芯片业最大新闻就是所谓的美日荷“神秘协议”。

据多家外媒报道，2023年1月27日，美国、荷兰和日本三国的国家安全事务官员在白宫结束高级别谈判，就部分限制对中国出口芯片制造设备达成协议，将把美国于2022年10月7日些出口管制新规扩大到荷兰ASML、日本东京电子（TEL）和尼康（Nikon）等公司。 该协议的目的是扼杀中国在芯片、超级计算机和人工智能领域的进步，挫败中国的“军事现代化”。

这些报道被多家媒体转载、求证，但相关三国政府均一反常态，拒绝置评。

环球时报的报道 图源：环球时报

神秘协议是啥？

2023年2月8日，中国驻欧盟使团团长傅聪大使出席欧盟智库欧洲政策中心（European Policy Center）举办的“60分钟吹风会”，与主持人、知名学者莎达（Shada Islam）对话交流，并回答现场观众提问。

莎达：您如何看待荷兰最近决定加入美国对中国实施的技术出口管制？

傅聪： 首先，我们还没有看到有关协议的内容。我不明白他们为什么要搞得如此神秘。其次，我们认为这是一个政治干预技术和商品贸易的典型案例。我们知道，这不符合荷兰的利益，不符合欧洲国家的利益，坦率地讲，在经济上也不符合美国的利益，很多美国公司也在抱怨。但美国出于政治和地缘政治考虑，试图将中国排除出全球供应链或者说同中国脱钩，达到其遏制中国的目的。我认为世界不应允许这种危险趋势继续发展，否则将导致两个“平行体系”。

莎达：分裂的世界。

傅聪： 没错。这不是我们愿意看到的。

2023年2月8日，傅聪大使出席“60分钟吹风会” 图源：中国驻欧盟使团

需要指出的是，这是一份美日荷三国政府签订的“神秘协议”。那么ASML公司的反应如何呢？

ASML公司的反应

2022年12月， ASML公司首席执行官彼得·温宁克（Peter Wennink）在接受采访时，美国芯片制造商能够向中国客户销售最先进的芯片，而ASML只能销售较旧的芯片制造设备，这似乎有些矛盾。

他还透露，阿斯麦在中国大陆的销售额只占总额的15%，而美国芯片设备供应商在中国大陆的销售额占其总额的25%，有时甚至超过30%。“在美国的压力下，我们放弃的已经够多了”，“美国芯片制造商却可以安然地和中国这个客户打交道”。

2023年1月25日，彼得·温宁克在位于荷兰费尔德霍芬的ASML公司总部接受其采访时指出，中国的半导体公司“必须与全球对手竞争”，所以他们才希望购买非中国制造的机器。由美国主导的针对中国的半导体出口管制措施，最终或促使中国在高端芯片制造设备领域成功研发出自己的技术。

彭博社报道截图

彼得·温宁克说： “如果他们不能得到这些机器，他们就会自己研发这些机器。这需要时间，但最终他们会达到目标。”温宁克还打了个比方说，“中国的‘物理学定律’和这里的一样，你越给他们施加压力，他们越有可能加倍努力”，以制造能与阿斯麦相匹敌的光刻设备。

谈及美国对华芯片出口管制的影响，温宁克表示，美国去年10月宣布的人员限制措施“为个人和公司带来了各种问题”，“这绝不是什么值得欢呼的事情”。他指出，出口管制总体而言将“造成一定程度的混乱”，“这将影响效率和创新，影响我们所有人”。

1月25日，温宁克公布阿斯麦公司第四季度业绩 图源：路透社

2023年1月28日， ASML 发言人表示 ， 了解到政府间已采取措施达成协议，协议针对先进的芯片制造技术，包括但不限于先进的光刻设备。“我们现在需要与相关部门进行对话，看看它究竟意味着什么”。

“在它生效之前，必须详细说明并完成立法，这需要时间。” 根据政府官员的评论及其对时间表的理解， “我们预计这些措施不会对我们公布的2023年预期产生实质性影响”。预计ASML公司2023年销售额同比将增长25%以上。

ASML公司的早期创业历程

芯片制造装备皇冠上的明珠、DUV光刻机、EUV光刻机、反超尼康和佳能、光刻机霸主、华为芯片断供、美日荷“神秘协议”……一系列词语和事件，把一家以前只有少数业内人士才熟悉的ASML公司推向网红一线。

ASML公司是全球技术供应链的重要基石，Gartner公布的数据显示，当前ASML公司控制着全球90%以上的芯片制造光刻设备市场。更为关键的是，ASML还是全球唯一的EUV光刻机供应商。

许多中国芯片相关人士都知道ASML这个公司。中国外交部发言人、中国商务部发言人、中国驻欧盟使团大使、中国驻荷hu兰大使等均曾就ASML公司的光刻机禁运问题发表过严正声明。

但是，了解ASML公司的早期发展历程，以及ASML公司和清华大学的一段蜜月期的人并不多。

与许多荷兰技术公司一样，ASML公司的前身是电子巨头飞利浦Natlab实验室。1967年，Natlab实验室研发6 镜头重复曝光光刻机的原型成品，曾在公司内部展会上展出。

一名飞利浦公司董事过来参观，光刻机团队正在眉飞色舞地给董事介绍机器性能，结果董事突然走开了，原来他被隔壁展台的带有自动平衡系统的新型洗衣机吸引过去了。原因很简单，与光刻机这种专业设备相比，新型洗衣机能够走进千家万户，当然更具赚钱能力。

1984年，飞利浦和荷兰芯片装备制造商先进半导体材料国际公司（ASM国际,又称ASMI，）成立了一家新公司，为不断增长的半导体市场开发光刻机。

这家新公司被称为Advanced Semiconductor Materials Lithography，简称ASML。据说当时有31名员工在埃因霍温飞利浦办公室旁边的一个漏水棚子里工作。需要说明的是，ASMI的来头可不简单，2021年，全球芯片设备供应商TOP 20榜单中，ASML 名列第2位，而ASMI名列第12位！

ASML公司最初只有几个简易厂房 ,门口就是垃圾桶 图源：《光刻巨人：ASML的崛起之路》

当时，光刻机市场已经是群雄并起，有10多家生产商，市场份额较大的有美国的著名仪器制造商珀金埃尔默(PerkinElmer)公司和GCA公司，以及日本的尼康和佳能。 ASML公司基于自20世纪70年代初以来的研发基础，推出了第一个系统PAS 2000步进光刻机。

1985年，ASML公司100名员工搬进了位于Veldhoven的新建办公室和工厂，离飞利浦研究实验室只有几公里。1986年，ASML公司将PAS 2500步进光刻机推向市场，采用了新的对准技术，同年，ASML公司与镜头制造商卡尔蔡司建立了现有的合作关系。

PAS 2500步进光刻机 图源：ASML

1988年，飞利浦在中国台湾建立了一家合资制造厂。 ASML公司也开始开拓亚洲市场。但在一个竞争激烈、供应商众多的市场上，这家来自荷兰的无名小公司却没能抓住机会。

ASML几乎没有客户，无法自立。更糟糕的是，股东ASMI无法以很少的回报维持高水平的投资，并决定退出，而全球电子行业则出现了恶化，飞利浦宣布了一项大规模的成本削减计划。

导致这家年轻的光刻机“吞金兽‘公司的命运悬而未决。ASML高管求助于飞利浦董事会成员亨克·博德（Henk Bodt），亨克·博德说服了他的飞利浦董事会同事，飞利浦伸出最后的援手，挽救了ASML公司。

随后，ASML公司推出了突破性的 PAS 5500步进光刻机，实现了盈利。这款经典的PAS 5500步进光刻机迄今还在一些芯片厂运行。1995年，ASML成为一家完全独立的上市公司，在阿姆斯特丹和纽约证券交易所上市。

飞利浦在首次公开募股时出售了一半的股份，并在接下来的几年里出售了其余的股份。首次公开募股带来了资本，进一步推动了ASML公司的增长。

突破性的PAS 5500步进光刻机 图源：ASML

2003年，ASML公司和中国台积电公司合作研发了193nm水浸没式步进扫描投影光刻机，型号是 TWINSCAN AT:1150i ,开始一路开挂。2016年，ASML公司的EUV光刻机TWINSCAN NXE:3400 开始向客户销售，成为了全球唯一的EUV光刻机生产商至今。

ASML公司早期和清华大学的合作研究

1980年9月，清华大学微电子研究所成立，其前身可以追溯到清华大学1956年设立的半导体专业，人员仅有74名教师和61名学生，经费不足，连盖教学楼资金都需要边建设、边筹资。

清华大学微电子研究所主要从事前沿科学研究，产出对本学科有重大影响的科研和学术成果，培育集成电路领域的学术大师和优秀人才。60多年来，清华大学在我国半导体及集成电路发展史上取得了一系列代表国家水平、具有标志性的成果，培养了一大批产业领军人才，为中国集成电路事业发展做出了突出贡献。2004年，以清华大学微电子研究所为基础，清华大学成立微纳电子系。

2021年4月，清华大学集成电路学院成立。 根据官网介绍，清华大学集成电路学院瞄准集成电路“卡脖子”难题，聚焦集成电路学科前沿，打破学科壁垒，强化交叉融合，突破关键核心技术，培养国家急需人才，实现集成电路学科国际领跑，支撑我国集成电路事业的自主创新发展。

清华大学微电子所在原教研实验室基础上，建立了第一条半导体超净工艺线，并于1990年5月建立我国第一条能够进行1微米VLSI研制与成套工艺开发的科研性工艺线。在国内第一次正向设计和研制成功1Mb汉字ROM，集成度106万个晶体管，标志当时国内的 芯片技术 跨上了1微米级新台阶 。该1微米VLSI研制与成套工艺开发的科研性工艺线的建设面临两大难题，一大难题是在“巴统”等管制下，清华引进的设备，功能并不齐全，比如刻蚀设备没有终点检测模块，等等。另一大难题就是光刻机！

如上所述，当时的ASML公司也是焦头烂额！几乎没有客户，股东ASMI退出，飞利浦宣布了一项大规模的成本削减计划。更为要命的是，当时的日本尼康和佳能公司如日中天，牢牢占据了光刻机霸主地位。仅尼康一家企业便独占50%的市场，佳能公司则次之。

1988年 ， ASML公司向清华大学微电子所交付了首台步进式光刻机！之后清华大学微电子所与 ASML 公司长期保持良好的合作关系。清华大学微电子所的光刻机引进难题得以解决，ASML公司通过清华大学的订单，看到了崛起的希望。

2000年，ASML中国分公司正式成立。2002年5月，时任荷兰ASML公司总裁的CEO Doug Dunn先生到清华大学访问，并与清华大学微电子学研究所签署联合应用技术合作协议。

2002年5月30日，光明日报报道：清华大学微电子学研究所与荷兰ASML公司最近在京签署协议，双方决定在光刻技术领域开展合作研究。有关专家认为，这一项目的开展，不但有利于保持双方在相关科技领域的领先地位，也有利于进一步提高清华大学微电子学科的教学与科研水平，还可以通过合作引进我国急需的光刻设备制造技术，促进我国IT产业的发展。

荷兰ASML公司是国际上著名的集成电路关键制造设备——光刻机的开发制造商，拥有生产最先进的光刻设备和推动集成电路工艺不断向更微小尺寸发展的先进技术，在世界20多家顶级的半导体芯片制造厂中占有一半以上的市场份额。

本次签署的合作项目， 内容包括清华微电子所引进一台ASML制造的价值200万欧元的先进的光刻机，双方结合清华大学已有的集成电路工艺条件及研究力量，形成先进的电子技术研究与开发能力，联合开展微机械制造、生物芯片、Ⅲ－Ⅴ族半导体与锗硅器件及SOC系统集成等热点技术研究，并对ASML光刻机在特殊领域的应用进行适用性技术探索。

这一合作项目的总经费约700多万欧元（约合6000万元人民币），将通过申请荷兰政府开设的专项资助ORET计划，由荷兰政府提供部分资金。

2002年5月30日光明日报报道 图源：光明日报

2018年，ASML公司又成立上海全球培训中心，并进一步于2021年成立北京本地维修中心。目前ASML建立了强大的本土化能力，在中国有15个办事处、11个仓储物流中心、3个开发中心、1个培训中心以及1个维修中心。根据财报，来自中国大陆的营收占2021年ASML整体的14.7%，达到27亿欧元。

今天，ASML公司在高端光刻机世界范围内占有90%的市场，是光刻机的当之无愧的领头羊。正如ASML公司首席执行官彼得·温宁克所指出， “ASML在芯片制造领域不可或缺，5G、人工智能等正加大内存芯片的需求，所以先进光刻机的市场前景可观” 。 “回顾过去20年，芯片市场平均每年增长5％。推动这一增长的因素也在发生根本变化，过去是台式机和笔记本电脑等个人计算机推动了芯片需求，之后是智能手机推动芯片需求的增长，现在则是5G、大数据、人工智能等新一代信息技术的强大驱动力 ”。

最关键的问题是，在“神秘协议”阴影下，希望ASML公司别忘了35年前和清华大学的合作往事。 临激烈的市场竞争。